深圳市石金科技股份有限公司 歡迎您！
咨詢熱線
137-2866-5346石墨舟污染分析及分類：
1.正常情況下，硅烷氨氣，在高溫，高頻光輝放電的作用下會生成一層較清潔干凈，不可擦掉的氮化硅生成物，附著在爐壁上。隨著鍍膜次數的增加，爐壁的SIN層越厚。
2.在真空及氣流的作用下會產生流沙一樣的土黃色的SIN小顆粒。沉積到特氣孔法蘭內，或分布于爐管的底部，及爐壁上。
3.由于氮氣不清潔（沒有安裝氮氣過濾器），在氮氣管壁有白色顆粒，在充氮氣回壓時隨氮氣到爐管，附著到wafer或許石墨舟上，形成小白點。
4.在工藝制程結束后特氣管道吹掃不干凈（流量計異常），有濃度較低的硅烷。在出石墨舟過程中隨氮氣沖出，在特氣孔周圍遇氧燃燒產生白色或許淡黃色的氧化硅霧狀附著物。
5.最嚴重的是硅烷羊角閥，或用流量計有漏，在沖N2時由于控制不好，會有濃度相對較高的SIH4漏出,在特氣孔處遇氧產生明火。燃燒產生的土灰色雪花狀漂浮物，會污染整個爐管，和石墨舟及舟內wafer上。
根據以上分析爐管粉塵污染大致分為如下幾類：
1.石墨舟舟片上淡黃色微顆粒；
2.石墨舟舟片上可去掉，或不可去掉小白點；
3.石墨舟舟片上黃色或者白色霧狀附著物（稱為氣流異常）；
4.石墨舟舟片上雪花狀漂浮物；
本文出自深圳市石金科技股份有限公司，公司是集銷售、應用開發，產品加工的石墨專業廠家，專門為模具行業、機械行業、真空熱處理爐、電子半導體及太陽能光伏（石墨舟）產業等提供石墨材料、石墨電極和相關的石墨制品，歡迎致電13662687390
聯系部門
鐘先生：150-1381-7458
羅小姐：137-2866-5346
電子郵箱：project@goldstonelee.net
公司地址：深圳市寶安區西鄉街道龍騰社區匯智研發中心BC座C1801
石金石墨
掃描二維碼
