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深圳市石金科技股份有限公司
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石墨舟作為太陽能電池片鍍減反射膜時(shí)的一種載體，其結(jié)構(gòu)和大小直接影響硅片的轉(zhuǎn)化效率和生產(chǎn)效率，經(jīng)過多年的技術(shù)研究和發(fā)展，我司現(xiàn)擁有先進(jìn)的生產(chǎn)設(shè)備、技術(shù)成熟的設(shè)計(jì)人員和經(jīng)驗(yàn)豐富的生產(chǎn)員工，且材料均為進(jìn)口原料，目前我司所制造的石墨舟具有結(jié)構(gòu)簡單、石墨舟片距離合理，使得硅片的鍍膜均勻、提高硅片的品質(zhì)，使得太陽能轉(zhuǎn)化效率高。石金公司有現(xiàn)在市場需要的所有類型石墨舟
發(fā)布時(shí)間：2020-10-21
瀏覽次數(shù)：19482
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膜厚。沉積時(shí)間的不同膜厚也是不一樣的要根據(jù)PEVCD石墨舟鍍膜的顏色來適當(dāng)?shù)脑黾踊驕p少它的沉積時(shí)間，片子發(fā)白要減少沉積時(shí)間，如偏紅則要適當(dāng)?shù)脑黾印Ｃ恳恢燮右娴拇_認(rèn)，不允許把不良品流入到下道工序，如色斑、水印鍍膜不良，應(yīng)及時(shí)挑出產(chǎn)線最常見的表面發(fā)白、色差、白點(diǎn)，其中表面發(fā)白主要由于氮化硅膜較厚導(dǎo)致，可通過調(diào)節(jié)膜沉積時(shí)間來調(diào)整；色差片主要由于氣路堵塞、石英管漏氣、微波故障等導(dǎo)致；白斑主要由于前道
發(fā)布時(shí)間：2020-10-09
瀏覽次數(shù)：5445
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將新石墨舟及使用超過3 年的舊石墨舟飽和后進(jìn)行PECVD鍍膜，片間均勻性差異如圖7 所示。由圖7 可知，新石墨舟?表面平整度好，石墨舟片導(dǎo)電性一致，薄膜分子可以均勻地沉積在硅片表面，片間均勻性更優(yōu)。圖8 為新石墨舟在使用周期內(nèi)的片間均勻性變化趨勢圖。
發(fā)布時(shí)間：2020-08-09
瀏覽次數(shù)：5212
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石墨舟清洗
石墨舟烘干
石墨舟預(yù)處理（飽和）
石墨舟的維護(hù)
發(fā)布時(shí)間：2020-07-16
瀏覽次數(shù)：6380
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管式鍍膜在硅片表面沉積一層氮化硅減反射膜，增強(qiáng)光的吸收與鈍化作用，鍍膜故障部分存在解決時(shí)間比較長，分析困難的情況，本文將介紹管式鍍膜舟污染異常情況，期待與您共同進(jìn)步。
發(fā)布時(shí)間：2020-06-29
瀏覽次數(shù)：5324
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主要區(qū)別在于肉眼無法觀察的一些細(xì)小氮化硅顆粒物的殘留導(dǎo)致石墨舟表面的平整性、粗糙度存在差異在3D顯微鏡狀態(tài)下測試的氮化硅殘留區(qū)域與非氮化硅殘留區(qū)域微觀形貌及粗糙度
發(fā)布時(shí)間：2019-11-14
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石墨舟污染原因和改善方法
少量微顆粒膜前附著到wafer上。鍍膜時(shí)SIN層沒能渡到wafer表面，造成小白點(diǎn)
特氣管道殘遇硅烷（濃度很低），隨氮?dú)鉀_出。在石墨舟出來的過程中造成明顯的氣流痕跡。
發(fā)布時(shí)間：2019-11-12
瀏覽次數(shù)：12665
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根據(jù)以上分析爐管粉塵污染大致分為如下幾類：
1.石墨舟舟片上淡黃色微顆粒；
2.石墨舟舟片上?可去掉，或不可去掉小白點(diǎn)；
3.石墨舟舟片上黃色或者白色霧狀附著物（稱為氣流異常）；
4.石墨舟舟片上雪花狀漂浮物；
發(fā)布時(shí)間：2019-11-12
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