石墨舟狀態對鍍膜均勻性的影響
發布時間：2020-08-09 點擊次數：5212
將新石墨舟及使用超過3 年的舊石墨舟飽和后進行PECVD鍍膜，片間均勻性差異如圖7 所示。由圖7 可知，新石墨舟表面平整度好，石墨舟片導電性一致，薄膜分子可以均勻地沉積在硅片表面，片間均勻性更優。圖8 為新石墨舟在使用周期內的片間均勻性變化趨勢圖。
新石墨舟飽和后在沉積時仍有部分等離子體在石墨舟片上沉積，運行次數小于30 次時，隨著運行次數的增加，石墨舟片上沉積的等離子體減少，片間均勻性越佳。運行次數大于30 次后，隨著使用次數的增加，石墨舟片內壁與硅片接觸邊緣處薄膜變厚，電場反而變強，發生更多的等離子沉積，易出現不同程度的邊緣發白現象，導致片間均勻性逐次變差。
石金科技生產的PECVD石墨舟作為鍍膜最常用的工藝，被廣泛用于半導體、太陽能電池片的生產過程中。作為硅片的載體，石墨是最理想的材料，對表面鍍膜的均勻性、色差等產生至關重要的作用，要求其有高純度、耐腐蝕、極好的抗彎強度和良好的導電性能。
本文出自深圳市石金科技股份有限公司，公司是集銷售、應用開發，產品加工的石墨專業廠家，專門為模具行業、機械行業、真空熱處理爐、電子半導體及太陽能光伏產業等提供石墨材料、石墨電極和相關的石墨制品，歡迎致電13662687390
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